물성분석
Surface Damage depth
ASTM F950-98(Standard Test Method for Measuring the Depth of Crystal Damage of a Mechanically Worked Silicon Slice Surface by Angle Polishing and Defect Etching)를 기반으로 한 기술로써 가공된 시료의 잔류 Damage 를 모서리 가공을 통해 확인하는 방법 가공 damage를 보는 직관적인 기술로써 가공으로 인한 damage 확인이 가능하다. 공정명 Damage depth 분석 할수 있는 것들 Silicon, Quartz … Read more